详细解析X射线光电子能谱分析的特点和注意事项

发表时间：2023-01-30

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　　X射线光电子能谱分析是用X射线去辐射样品，使原子或分子的内层电子或价电子受激发射出来。被光子激发出来的电子称为光电子，可以测量光电子的能量，以光电子的动能为横坐标，相对强度（脉冲/s）为纵坐标可做出光电子能谱图，从而获得待测物组成。

　　X射线光电子能谱分析的特点：

　　当用电子束激发时，如用AES法，必须使用超真空，以防止样品上形成碳的沉积物而掩盖被测表面。X射线比较柔和的特性使我们有可能在中等真空程度下对表面观察若干小时而不会影响测试结果。此外，化学位移效应也是XPS法不同于其它方法的另一特点，即采用直观的化学认识即可解释XPS中的化学位移，相比之下，在AES中解释起来就困难的多。XPS能在不太的真空度下进行表面分析研究，这是其它方法都做不到的。

　　注意事项：

　　1、样品较大规格尺寸为1×1×0.5cm，当样品尺寸过大需切割取样；

　　2、取样的时候避免手和取样工具接触到需要测试的位置，取下样品后使用真空包装或其他能隔离外界环境的包装，避免外来污染影响分析结果；

　　3、XPS测试的样品可喷薄金（不大于1nm），可以测试弱导电性的样品，但绝缘的样品不能测试；

　　4、XPS元素分析范围Li-U，只能测试无机物质，不能测试有机物物质，检出限0.1%。

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