什么是高分辨断层三维扫描？它可检测哪些小部件？

发表时间：2022-12-05

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　　高分辨断层三维扫描系统是一款真正的超分辨率X射线显微镜（XRM），能够以空间分辨率测量样品的内部结构三维断层扫描（CT）图像，被广泛地应用生物、材料、半导体科学等领域，实现无损测量及评估。例该系统是在显微尺度研究生物的设备，可看作高分辨率显微表型结构成像系统，如显微细胞、组织种子等显微结构研究，用于生物研究中隐藏内部结构的详细3D信息采集，以了解各种生物的形态，如纳米CT是一种在完整细胞内观察三维纳米结构的理想技术，系统还可对较大生物样品如线虫、血管等进行成像。另一款纳米CT系统的分辨率可达40nm。

　　高分辨断层三维扫描是一款紧凑型高分辨率计算机断层扫描系统，适用于以下各类小型部件检测：

　　1、类似SMD的电子元件；

　　2、半导体封装；

　　3、采用新型材料（例如金属、塑料、CFRP）制成的探头；

　　4、微型系统、MEMS和MOEMS器件；

　　5、类似针筒的医疗器械；

　　6、例如注塑模具的小型金属件；

　　7、电子设备；

　　8、小型铸件。

　　扫描系统的优势：

　　1、单管或双管配置，实现高泛用性；

　　2、花岗岩质地的载物台，确保温度的稳定；